詳細(xì)說明
技術(shù)參數(shù)
◆ 設(shè)備外形尺寸(不包括報(bào)警燈) 650(W)×900(D)×1600(H)mm ◆ 合金鋁真空倉(cāng)體(約100升) 450(W)×450(D)×450(H)mm ◆ 電極結(jié)構(gòu) 外置電感耦合電極 ◆ 等離子發(fā)生器(美國(guó)MKS) 頻率13.56MHZ,功率0-1000W連續(xù)調(diào)節(jié),自動(dòng)阻抗匹配,全電路保護(hù),可連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間工作 ◆ 控制系統(tǒng) PLC觸摸屏控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式 ◆ 真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動(dòng)控制) 日本愛發(fā)科(ULVAC)機(jī)械真空泵 VDN901 (23L/S) 臺(tái)灣氣動(dòng)真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國(guó)英福康壓力傳感器 ◆ 充氣系統(tǒng) 美國(guó)MKS高精度電子質(zhì)量流量計(jì)(四路氣體配制) 美國(guó)世偉洛克SWAGELOK氣體管路及接口組件，德國(guó)雙級(jí)減壓閥 日本SMC及CKD高真空氣閥組件
